MEMS акселерометр

Кузнецов И.М., Турлов П.А.

Рассмотрены устройство и принцип работы MEMS-акселерометра, сигма-дельта преобразование, компенсация силы тяжести и технические параметры. Сопоставлены датчики DSU и VectorSeis с электродинамическими геофонами и оценены области применения.